四氟硅烷

四氟硅烷，有机硅化合物的合成材料，水泥和人造大理石的硬化剂，氟硅酸及氟化硅的制造，硅的外延生长，等离子蚀刻，太阳能电池，复印机感光命行船培直养筒，非晶硅膜生成，化学气相淀积。

• 中文名称 四氟硅烷
• 外文名称 Silicon Tetrafluoride、TetrafIuorosiIane、Silicon fluoride
• 别名 氟化硅，四氟化硅，全氟硅烷
• 分子量  104.08

用途

　　另外，氟硅烷还用于超疏水表面的修饰。

制法

　　(1)加武染绍议随却市工含有氟化物的天然磷酸盐触身坐(在浓硫酸对CaF2和氟磷灰石作用时)的副产品。

　　(2)在赤热温度下分解氟硅酸钡。

　　(3)用HF作用于SiO2.

　　(4)在常温下F对Si的作用。

　　(5)将硅砂与氟石混合，加入过量的浓硫酸中，并加热。

　　(6)氟置换四来自氯化硅，SiCl4+2F2→SiF4+2Cl。

理化性吸染心析上叫刘秋质

　　分子量: 104.08

　　熔点: -95.7℃

　　沸点(241kPa): 聚套怎娘90.2℃

　　升化点: -94.8

　　液体密度(-80℃存真供技掌)j 1590kg/m

　　气体密度(20℃，101.325kPa): 4.370kg/m

　　非苗吸仅美察木相对密度(气体，空气=1，20℃，101祖早伟条减随谓测注.325kPa):3.63

　　比容(21.1℃;101.325kPa):态0.231m/kg

　　临界温度: -14.2℃

　　临界压力: 3715kPa

　　熔化热(177.45K): 91.37kJ/kg

　　气化热(182.9K，176kPa): 179.29kJ/kg

　　升化热(178.35K): 246.43kJ/kg

　　比热容(20℃，101.325kPa): 711.76J/(kg·K)

　　蒸气压(-113.3℃): 13.332kPa

　　(-52来自.6℃): 1013.25kPa

　　(-33.4℃): 2026.5kPa

　　四氟化硅在常温常压下为具有窒息性刺激臭的无色气体，空气中不燃烧。在600℃时与SiCl4反应生成地胶打突传眼家源超SiClF、SiCl2F及SiCl3F。在湿空气中能形成白色烟雾，水解后生成HF和氟硅酸。

　　3SiF4+(n+2)H2O→2H2SiF6+SiO2·nH2O

　　2SiF4+(n+2)H2O→2HF永济述爱散歌并程吃苗+H2SiF6+SiO2·nH2O

　　在常温干燥状态下，它与碱、碱土类金属反应360百科生成硅、硅氟化碱等，又与碱及碱土类元素的氧化物或氢氧物反应。与碱金属的氟化物反应生成氟硅酸盐。

　　SiF4+2NaF→Na2SiF6

　　与酒精反应生成烷基正硅酸盐。与格利雅试剂反应。

　　SiF4+3RMgX→R3SiF+3MgFX

　演式却对仅兵　(R:烷基或丙烯基)

　　干燥的四氟化硅气体无腐蚀性，但有水分时有腐蚀性。能溶于无水酒精、硝混较干财岩降王示长酸、氟化氢、乙醚、吧初易危担剂英苯和氯仿中。

毒性

　　大鼠--吸入LCLo:300ppm

　　最高容许浓度:建今呼层希0.4ppm(以F计)

　　四氟化硅遇水分解生成的氟化氢等氟化物对人体产生毒作用，它对皮肤、眼睛和呼吸道粘膜产生刺激和认腐蚀作用，能引起流泪、眼痛、咳嗽、呼吸困难、肺水肿等症状。长期接触可引起牙齿酸蚀症及骨硬化症(参见氯化氢和氟化氢)。

安全防护

　　工作场所要通风脱起内零宣胞利明氢，保持空气新鲜干燥。潮湿时四氟化硅能迅速水解而具有腐蚀性。对干燥的四氟化矿规有土天简厚硅可使用大多数通用金属材料，对潮湿的气体可以用蒙乃尔尔程鲜胶品去官频准、铬镍合金、锌、金、铂等，但是铝、铝合金、钽、钛等不耐腐蚀。设备管道可用氨水检漏。

　　废气可用水吸收，用苛性钾等碱性水溶液中和脸古相油获兴已春所感。